[머신비전/비전검사] 마스크 홀 외관 검사 (홀 치수측정, 오픈쇼트 등)

마스크 홀 외관 검사 시스템 적용 사례입니다. 32K 라인스캔 광학계로 약 6,800만 개의 홀을 스캔하고, 판정까지 약 90초의 사이클 타임 안에 Open · Short · Particle · Missing · Size 를 검사합니다.

개요

마스크 홀 외관 검사

광학 구성

라인스캔 광학계 (32K 라인스캔 및 5MP 리뷰 광학계)

기능 구성

• 라인스캔 후 홀 Open / Short, Particle, Missing, Size 검사
• 약 6,800만 개의 홀을 스캔한 뒤 판정까지 약 90초 C/T

화면 구성

검출 유형